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大半導體關鍵電子化學品系列報告之一-光刻膠

光刻膠的質量和性能是影響集成電路性能、成品率及可靠性的關鍵因素。光刻工藝的成本約為整個芯片制造工藝的 35%，并且耗費時間約占整個芯片工藝的 40%-60%。因此光刻膠是半導體集成電路制造的核心材料。

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